Об Андрее Тычкове (ФФ-1997, 2000 ) написал новостной нидерландский сайт ED

Сибирский специалист приручает лазер высокой мощности на ASML в Велдховене

Источник

ВЕЛДХОВЕН. Лазерный луч, с помощью которого в «Звездных войнах» можно было бы сбить линкор. Андрей Тычков из компании ASML обеспечивает создание яркого пучка света для производства чипов с помощью EUV (экстремальный или глубокий ультрафиолет)

Чип-машины ASML работают с пучками света, и многие сотрудники компании прилагают усилия, чтобы направить этот свет в правильном направлении. 43-летний россиянин Андрей Тычков  –  один из них, и его задача – приручить лазерный луч мощностью до 30 000 Вт. «Мы посылаем его 50 000 раз в секунду на каплю олова 0,05 миллиметра. Этот металл превращается в чрезвычайно горячую плазму и излучает желаемый свет в глубоком ультрафиолете».

Новейшие чип-машины

EUV расшифровывается как глубокий ультрафиолет. Кроме того, это название новейших чип-машин от ASML. В первый день Недели оптики организации точных исследований DSPE в Эйндховене Тычков рассказал о своей работе.

Специалист по лазерам родом с далекого востока российской Сибири. «Я вырос недалеко от Новосибирска, столицы Сибири. В 1960-х годах Советский Союз построил Академгородок, который представляет собой городок, построенный вокруг  университета и научных институтов. Мои родители переехали туда, и я вырос в краю сибирских лесов».

Тычкову суждено было учиться в этом университете. «Он был в пяти минутах ходьбы от нашего дома, а мой отец был профессором геологии. Я там изучал физику, и, поскольку в Академгородке также есть известный институт лазерной физики, я заинтересовался лазерами. Моя специализация – охлаждение мощных лазерных лучей».

Очень хорошие результаты

Тычков добился очень хороших результатов, и в 2001 году университеты Инсбрука, Пизы, Дарема и Амстердама предложили ему приехать и защитить докторскую диссертацию. «Профессор Вим Вассен из университета Амстердама (VU) позвонил мне первым. Было ни с чем не сравнимое ощущение, когда тебе в Сибирь звонят из Амстердама. Он проверил, достаточно ли хорош мой английский, и предложил приехать на трехмесячную стажировку. Мне понравилось это предложение».

После распада Советского Союза Тычков попал в волну ученых, покинувших Академгородок. «С тех пор многое изменилось, Россия много вложила в проект «Академгородок 2.0». Для ученых  высокого уровня появился выбор: остаться в России или переехать за границу».

Переезд из Сибири в Амстердам – сложное мероприятие, но для Тычкова он прошел легко. «Моя мама из Санкт-Петербурга, и мы часто ездили туда. Кроме того, в нашем городе было много культурных объектов и развлечений. Мы также регулярно ездили в другие города, поэтому переезды для меня – обычное дело. В Амстердаме я быстро привык к западной культуре».

Точка абсолютного нуля

Тычков пять лет занимался исследованиями в Университете Амстердама. «Мы исследовали Бозе-Эйнштейновский конденсат, явление, за которое была вручена Нобелевская премия в 2001 году. Мы охладили атомы до абсолютного нуля, и они пришли в состояние, которое Альберт Эйнштейн предсказал уже в 1924 году. Это был замечательный опыт, результаты которого я до сих пор использую».

Охлаждение также является важной частью работы Тычкова в ASML. «Я слышал об ASML от людей, которых я знал по школе в Сибири, и начал работать в этой компании в 2006 году. Первые шесть лет я работал над лазерной оптикой для машин DUV от ASML. Это относительно простые системы, если сравнивать их с усилиями, которые связаны с лазерами EUV».

На этом снимке машины EUV глубокий ультрафиолетовый свет изображается зеленым.

С помощью машин EUV такие производители, как Intel, Samsung и TSMC (последний, в том числе, для Apple) производят самые передовые чипы. Под машиной установлен лазер. Огромный станок от Trumpf, немецкого производителя лазеров для резки толстых металлических пластин, испускает невообразимо мощный луч света, который должен выполнять свою работу в самой машине уровнем выше.

Пучки

Лазерный пучок направляется через систему трубок к чип-машине, говорит Тычков. «На пути, по которому должен пройти лазерный луч, имеются оптические элементы, которые управляют лучом, чтобы он корректно работал. При этом выделяется много тепла, и это нужно изменить. Совершенствование этого типа оптических элементов – моя работа».

Может показаться, что Тычков проводит свои эксперименты в лаборатории, где он с помощью зеркал и призм посылает лазерные лучи во всех направлениях, но это не так. «Безусловно, большая часть работы выполняется на компьютере. Мы изменяем параметры в виртуальных моделях установки. Таким образом, мы можем опробовать тысячи изменений за короткое время. Конструкция с наилучшими результатами проверяется на реальной машине. Мы получаем данные измерений, с помощью которых мы можем настроить наши модели. Обеспечение включения изменений в машины, предназначенные для клиентов, – это наша следующая задача».

Многое еще предстоит сделать

По словам Тычкова, с помощью лазерных технологий в ASML еще многое можно сделать. «Отсутсвие походящего источника света вызвало задержки в развитии технологии EUV в прошлом. Сейчас мощность ламп EUV в наших машинах составляет около 250 Вт, что достаточно для дальнейшего повышения производительности машины до 170 пластин (диски, на которых формируются сотни чипов – прим. ED.nl) в час. Добиться того, чтобы все машины, которые существуют в мире, достигли такой производительности, является важной задачей».

Тычков живет в Эйндховене с женой и тремя детьми. «Здесь мы можем заниматься тем, что нам нравится. Мы пользуемся бассейнами, ходим на каток и в концертный зал Muziekgebouw. Качество жизни здесь превосходное, и нам нравится голландская открытость и «хороший» менталитет».

Текст: Харри Веррейт, ED.nl